Hexafluorure de tungstène (WF₆)

Le fluorure de tungstène (VI), également connu sous le nom d'hexafluorure de tungstène, est un composé inorganique de formule WF₆. C'est un gaz toxique, corrosif, incolore, d'une densité d'environ 13 kg/m³. C'est l'un des gaz les plus denses connus dans des conditions standard.

L'hexafluorure de tungstène (WF₆) est largement utilisé dans la production de circuits semi-conducteurs et de cartes de circuits imprimés par le procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Le disiliciure de tungstène (WSi2) fabriqué par WF₆ peut être utilisé comme matériau de câblage pour les circuits intégrés à grande échelle. De plus, WF₆ est également utilisé comme électrode semi-conductrice et pour la production de carbure de tungstène.

LRICI possède la technologie avancée de synthèse, de purification et de raffinage WF₆ et l'analyse des gaz hautement purifiés. La société dispose désormais d'une installation de 50 t/a qui peut produire 99,999% de WF₆ de manière stable.