Tétrafluorure de carbone (CF₄)

Le tétrafluoroéthane (CF₄), également appelé tétrafluorure de carbone, est un gaz incolore, non toxique et ininflammable, normalement comprimé et expédié à haute pression. Le CF₄ est le principal agent de gravure au plasma dans l'industrie des conducteurs séminaux, qui est largement utilisé pour la gravure du polysilicium, du dioxyde de silicium, du nitrite de silicium, de certains métaux et des siliciures métalliques. En outre, le CF₄ est très utile comme réfrigérant à basse température, comme gaz de nettoyage pour les tranches et les chambres et comme isolant gazeux.

Basé sur la technologie avancée d'électrolyse et de production de fluorure et la R&D continue depuis plusieurs années, LRICI dispose d'une unité de production de CF₄ de 100 t/a avec des droits de propriété intellectuelle indépendants qui peuvent servir la production de CF₄ 5N et 5,8N de manière continue et stable.