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Trifluorure d'azote (NF<sub>3</sub>)

Trifluorure d'azote (NF3)

Le trifluorure d'azote (NF3) est un gaz inorganique, incolore, ininflammable et toxique avec une légère odeur de moisi. Le trifluorure d'azote (NF3) est un produit chimique inorganique synthétique. Il est fabriqué par réaction d'acide chlorhydrique (HCl) et d'ammoniac (NH3).

Le trifluorure d'azote (NF3) est un nouveau gaz spécial pour l'industrie électronique en tant que gaz de nettoyage pour le nettoyage et la gravure au plasma, largement utilisé dans les TFT-LCD, l'industrie des semi-conducteurs et de la photoélectricité solaire, etc.

Basée sur la technologie de production d'électrolyse et de fluorures mature, grâce à une R&D continue depuis plusieurs années, la société a réalisé plusieurs technologies de production avancées dans le monde. Depuis 2009, LRICI est un fournisseur stable avec une grande réputation de produits de qualité électronique NF3 pour les clients nationaux et les clients du Japon, de Taïwan, de Corée du Sud, etc. La société a maintenant une productivité de 4000 t/a et peut produire encore plus de 99,99% spec, production de NF3 de manière continue et stable.

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Qualité standard:

Item GB/T 21287-2007 Q/LMY106-2009
NF3, 10-2 ≥ 99.99 ≥ 99.995
CF4, 10-6 ≤ 50 ≤ 40
N2, 10-6 ≤ 10 ≤ 5
O2+Ar, 10-6 ≤ 5 ≤ 3
CO, 10-6 ≤ 5 ≤ 1
CO2, 10-6 ≤ 5 ≤ 5
N2O, 10-6 ≤ 5 ≤ 5
SF6, 10-6 ≤ 5 ≤ 5
L'acidité (comme HF), 10-6 ≤ 1 ≤ 1
H2O, 10-6 ≤ 1 ≤ 1

Emballage:

Taille du cylindre 43L 47L 470L
Poids de remplissage 15kg 20kg 200kg
Soupape de cylindre CGA330 CGA640 CGA640

Application:

Trifluorure d'azote de grade électronique: Il s'agit d'un nouveau type de produit chimique de qualité électronique qui a été développé ces dernières années. Il appartient au gaz électronique utilisé pour l'électronique, les semi-conducteurs et les industries photovoltaïques, principalement utilisé pour la gravure au plasma et le nettoyage des composants électroniques, et est largement appliqué dans la fabrication de puces, les lasers à haute énergie et les industries photovoltaïques solaires.

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