Hexafluoruro de tungsteno (WF₆)

El fluoruro de tungsteno (VI), también conocido como hexafluoruro de tungsteno, es un compuesto inorgánico con la fórmula WF₆. Es un gas tóxico, corrosivo, incoloro, con una densidad de unos 13 kg/m³. Es uno de los gases más densos conocidos en condiciones estándar.

El hexafluoruro de tungsteno (WF₆) se usa ampliamente en la producción de circuitos semiconductores y placas de circuitos a través del proceso de deposición química de vapor (CVD). El disiliciuro de tungsteno (WSi2) fabricado por WF₆ se puede usar como material de cableado para circuitos integrados a gran escala. Además, WF₆ también se utiliza como electrodo semiconductor y para la producción de carburo de tungsteno.

LRICI posee la tecnología avanzada de síntesis, purificación y refinación WF₆ y análisis de gas altamente purificado. La empresa ahora tiene una instalación de 50 t/a que puede producir 99,999 % de WF₆ de manera estable.