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Tetrafluorometano de carbono (CF<sub>4</sub>)

Tetrafluorometano de carbono (CF4)

El tetrafluorometano (CF4), también llamado Carbon Tetrafluorideis, es un gas incoloro, no tóxico y no inflamable, normalmente comprimido y transportado a alta presión. CF4 es el principal agente de grabado por plasma en la industria de los conductores semin, que se usa ampliamente para grabar polisilicio, dióxido de silicio, nitrito de silicio, algunos metales y siliciuros metálicos. Además, el CF4 es muy útil como refrigerante a baja temperatura, como gas de limpieza para obleas y cámaras y como gas aislante.

Basado en la tecnología avanzada de electrólisis y producción de fluoruro y la investigación y el desarrollo continuos durante varios años, LRICI tiene una unidad de producción de CF4 de 100t/a con derechos de propiedad intelectual independientes que pueden servir para la producción de CF4 5N y 5.8N de manera continua y estable.

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Especificación para 8N&5N CF4

Ítem Índice
CF4, 10-2 ≥ 99.9998 ≥ 99.999
N2, 10-6 ≤ 1 ≤ 4
O2, 10-6 ≤ 0.5 ≤ 1
H2O, 10-6 ≤ 0.5 ≤ 1
CO, 10-6 ≤ 0.1 ≤ 0.1
CO2, 10-6 ≤ 0.4 ≤ 1
SF6, 10-6 ≤ 0.1 ≤ 1
F-C, 10-6 ≤ 0.5 ≤ 1
HF, 10-6 ≤ 0.1 ≤ 1

Nota: todas las especificaciones son fracciones de masa.

Embalaje:

Tipo de cilindro Diámetro nominal (OD) × Altura (cm) Peso del cilindro (kg) Volumen interno (L) Presión del cilindro (MPa) Contenido (kg) Válvula
DOT 3AA2265 23×130/23×138.5 52/55 43.3/46.7 14 26/28 CGA580
CGA320

* La altura se informa como la distancia desde la parte inferior del cilindro hasta el cuello del cilindro;

* O sirva los otros tipos de cilindros y válvulas según la demanda de los clientes.

Aplicación:

Tetrafluoruro de carbono de grado electrónico: actualmente es uno de los principales gases de grabado con plasma en la industria de semiconductores, utilizado principalmente para grabar silicio, dióxido de silicio, nitruro de silicio, siliciuro metálico y algunos metales. Es ampliamente utilizado en refrigeración a baja temperatura, limpieza de superficies de dispositivos electrónicos y aislamiento de fase gaseosa, etc.

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