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Trifluoruro de Nitrógeno (NF<sub>3</sub>)

Trifluoruro de Nitrógeno (NF3)

El trifluoruro de nitrógeno (NF3) es un gas inorgánico, incoloro, no inflamable y tóxico con un ligero olor a humedad. El trifluoruro de nitrógeno (NF3) es una sustancia química inorgánica sintética. Se fabrica por la reacción de ácido clorhídrico (HCl) y amoníaco (NH3).

El trifluoruro de nitrógeno (NF3) es un nuevo gas especial para la industria electrónica como gas de limpieza para la limpieza y el grabado con plasma, ampliamente utilizado en la industria de TFT-LCD, semiconductores y fotoelectricidad solar, etc., que tiene ventajas como ausencia de restos, alta velocidad de limpieza y fácil descomposición.

Basado en la tecnología de producción de fluoruros y electrólisis madura, a través de I + D continuo durante varios años, la compañía ha logrado varias tecnologías de producción avanzadas en el mundo. Desde 2009, LRICI ha sido un proveedor estable con gran reputación de productos de grado electrónico NF3 para clientes nacionales y clientes de Japón, Taiwán, Corea del Sur, etc. La empresa ahora tiene una productividad de 4000 t/a y puede producir incluso más del 99.99%. especificaciones, producción de NF3 de forma continua y estable.

Quality Standard:

Ítem GB/T 21287-2007 Q/LMY106-2009
NF3, 10-2 ≥ 99.99 ≥ 99.995
CF4, 10-6 ≤ 50 ≤ 40
N2, 10-6 ≤ 10 ≤ 5
O2+Ar, 10-6 ≤ 5 ≤ 3
CO, 10-6 ≤ 5 ≤ 1
CO2, 10-6 ≤ 5 ≤ 5
N2O, 10-6 ≤ 5 ≤ 5
SF6, 10-6 ≤ 5 ≤ 5
Ácidoez (como HF), 10-6 ≤ 1 ≤ 1
H2O, 10-6 ≤ 1 ≤ 1

Embalaje:

Tamaño del cilindro 43L 47L 470L
Peso de relleno 15kg 20kg 200kg
Válvula de cilindro CGA330 CGA640 CGA640

Aplicación:

Trifluoruro de nitrógeno de grado electrónico: es un nuevo tipo de producto químico de grado electrónico que se desarrolló en los últimos años. Pertenece al gas electrónico utilizado para las industrias electrónica, de semiconductores y fotovoltaica, principalmente utilizado para el grabado con plasma y la limpieza de componentes electrónicos, y se aplica ampliamente en la fabricación de chips, láser de alta energía e industrias solares fotovoltaicas.

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