Wolframhexafluorid (WF₆)

Wolfram(VI)fluorid, auch bekannt als Wolframhexafluorid, ist eine anorganische Verbindung mit der Formel WF₆. Es ist ein giftiges, ätzendes, farbloses Gas mit einer Dichte von etwa 13 kg/m³. Unter Standardbedingungen ist es eines der dichtesten bekannten Gase.

Wolframhexafluorid (WF₆) wird häufig bei der Herstellung von Halbleiterschaltkreisen und Leiterplatten durch den Prozess der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) verwendet. Wolframdisilizid (WSi2), hergestellt von WF₆, kann als Verdrahtungsmaterial für großformatige integrierte Schaltkreise verwendet werden. Darüber hinaus wird WF₆ auch als Halbleiterelektrode und zur Herstellung von Wolframcarbid verwendet.

LRICI verfügt über die fortschrittliche WF₆-Synthese-, Reinigungs- und Raffinierungstechnologie sowie die hochreine Gasanalyse. Das Unternehmen verfügt nun über eine 50-Tonnen-Anlage, die 99.999% WF₆ stabil produzieren kann.