Tetrafluormethan (CF4), auch Kohlenstofftetrafluorid genannt, ist ein farbloses, ungiftiges, nicht brennbares Gas, das normalerweise komprimiert und unter hohem Druck transportiert wird. CF4 ist das wichtigste Plasmaätzmittel in der Halbleiterindustrie und wird häufig zum Ätzen von Polysilizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrit, einigen Metallen und Metallsiliziden verwendet. Außerdem ist CF4 als Kältemittel für niedrige Temperaturen, als Reinigungsgas für Wafer und Kammern und als gasförmiges Isoliermittel sehr nützlich.
Basierend auf der fortschrittlichen Elektrolyse- und Fluoridproduktionstechnologie sowie der kontinuierlichen Forschung und Entwicklung seit mehreren Jahren verfügt LRICI über eine CF4-Produktionseinheit mit 100 Tonnen pro Jahr und unabhängigen geistigen Eigentumsrechten, die die Produktion von 5N und 5,8N CF4 kontinuierlich und stabil gewährleisten kann.