Stickstofftrifluorid (NF₃)

Stickstofftrifluorid (NF₃) ist ein anorganisches, farbloses, nicht brennbares, giftiges Gas mit leicht muffigem Geruch. Stickstofftrifluorid (NF₃) ist eine synthetische anorganische Chemikalie. Es wird durch die Reaktion von Salzsäure (HCl) und Ammoniak (NH3) hergestellt.

Stickstofftrifluorid (NF₃) ist ein neues Spezialgas für die Elektronikindustrie als Reinigungsgas für die Plasmareinigung und -ätzung, das in der TFT-LCD-, Halbleiter- und Solarphotoelektrizitätsindustrie usw. weit verbreitet ist und den Vorteil hat, dass es keine Rückstände gibt, eine hohe Reinigungsgeschwindigkeit aufweist und leicht zu zersetzen ist.

Basierend auf der ausgereiften Elektrolyse- und Fluorid Produktionstechnologie hat das Unternehmen durch kontinuierliche Forschung und Entwicklung über mehrere Jahre hinweg mehrere weltweit fortschrittliche Produktionstechnologien erreicht. Seit 2009 ist LRICI ein stabiler Lieferant mit hohem Ansehen für NF₃-Elektronikprodukte für inländische Kunden und Kunden aus Japan, Taiwan, Südkorea usw. Das Unternehmen hat jetzt eine Produktivität von 4000 t/a und kann sogar mehr als 99.99% produzieren. Spezifikation, NF₃-Produktion kontinuierlich und stabil.