Wolfram hexafluoride (WF₆)

Wolfram(VI) fluoride, còn được gọi là wolfram hexafluoride, là một hợp chất vô cơ có công thức WF₆. Nó là một loại khí độc hại, ăn mòn, không màu, với mật độ khoảng 13 kg/m³. Nó là một trong những loại khí dày đặc nhất được biết đến trong điều kiện tiêu chuẩn.

Wolfram hexafluoride (WF₆) được sử dụng rộng rãi trong sản xuất mạch bán dẫn và bảng mạch thông qua quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD). Chất khử silic vonfram (WSi2) do WF₆ sản xuất có thể được sử dụng làm vật liệu nối dây cho mạch tích hợp quy mô lớn. Ngoài ra, WF₆ còn được sử dụng làm điện cực bán dẫn và sản xuất cacbua vonfram.

LRICI sở hữu công nghệ tổng hợp, tinh chế, tinh chế WF₆ tiên tiến và phân tích khí có độ tinh khiết cao. Công ty hiện có một cơ sở 50 t/a có thể sản xuất ổn định 99,999% WF₆.