Carbon Tetrafluoromethane (CF₄)

Tetrafluoromethane (CF₄) còn được gọi là Carbon Tetrafluorideis là một loại khí không màu, không độc hại, không bắt lửa, thường được nén và vận chuyển ở áp suất cao. CF₄ là tác nhân khắc plasma chính trong ngành công nghiệp dây dẫn tinh dịch, được sử dụng rộng rãi để khắc Polysilicon, Silicon Dioxide, Silicon Nitrite, một số Kim loại và Silicide kim loại. Ngoài ra, CF₄ rất hữu ích như một chất làm lạnh có nhiệt độ thấp, như một chất khí làm sạch cho các tấm và buồng và như một chất cách nhiệt dạng khí.

Dựa trên công nghệ sản xuất florua và điện phân tiên tiến cũng như hoạt động Nghiên cứu & Phát triển liên tục trong nhiều năm, LRICI có một đơn vị sản xuất 100 tấn/một CF₄ với quyền sở hữu trí tuệ độc lập có thể phục vụ sản xuất CF₄ 5N và 5,8N một cách liên tục và ổn định.