Nitơ triflorua (NF3) là một chất khí độc vô cơ, không màu, không cháy, có mùi hơi mốc. Nitơ triflorua (NF3) là một hóa chất vô cơ tổng hợp. Nó được sản xuất bằng phản ứng của axit clohydric (HCl) và amoniac (NH3).
Nitơ triflorua (NF3) là một loại khí đặc biệt mới cho ngành công nghiệp điện tử như khí làm sạch để làm sạch và khắc plasma, được sử dụng rộng rãi trong TFT-LCD, chất bán dẫn và công nghiệp quang điện mặt trời, v.v., có ưu điểm là không còn cặn, tốc độ làm sạch cao và dễ phân hủy.
Dựa trên công nghệ sản xuất florua và điện phân đã trưởng thành, thông qua R&D liên tục trong vài năm, công ty đã đạt được một số công nghệ sản xuất tiên tiến trên thế giới. Từ năm 2009, LRICI đã ổn định là nhà cung cấp uy tín các sản phẩm cấp điện tử NF3 cho khách hàng trong nước và khách hàng đến từ Nhật Bản, Đài Loan, Hàn Quốc, v.v. Công ty hiện có năng suất 4000 tấn/năm và có thể sản xuất hơn 99,99% spec, NF3 sản xuất liên tục và ổn định.