ทังสเตนเฮกซะฟลูออไรด์ (WF₆)

ทังสเตน (VI) ฟลูออไรด์ หรือที่เรียกว่าทังสเตนเฮกซะฟลูออไรด์ เป็นสารประกอบอนินทรีย์ที่มีสูตร WF₆ เป็นก๊าซพิษ กัดกร่อน ไม่มีสี มีความหนาแน่นประมาณ 13 กก./ลบ.ม. เป็นหนึ่งในก๊าซที่รู้จักหนาแน่นที่สุดภายใต้สภาวะมาตรฐาน

ทังสเตนเฮกซะฟลูออไรด์ (WF₆) ถูกใช้อย่างกว้างขวางในการผลิตวงจรเซมิคอนดักเตอร์และแผงวงจรผ่านกระบวนการสะสมไอเคมี (CVD) ทังสเตนไดซิลิไซด์ (WSi2) ที่ผลิตโดย WF₆ สามารถใช้เป็นวัสดุเดินสายสำหรับวงจรรวมขนาดใหญ่ นอกจากนี้ WF₆ ยังใช้เป็นอิเล็กโทรดเซมิคอนดักเตอร์และสำหรับการผลิตทังสเตนคาร์ไบด์

LRICI มีเทคโนโลยีการสังเคราะห์ การทำให้บริสุทธิ์ การทำให้บริสุทธิ์ขั้นสูงของ WF₆ และการวิเคราะห์ก๊าซบริสุทธิ์สูง ขณะนี้บริษัทมีโรงงาน 50 ตัน/แห่ง ซึ่งสามารถผลิต WF₆ ได้ 99.999% อย่างเสถียร