คาร์บอนเตตระฟลูออโรมีเทน (CF₄)

เตตระฟลูออโรมีเทน (CF₄) หรือจำได้ว่ามีคาร์บอนเตตราฟลูออไรด์เป็นเครื่องหมายการค้าไม่มีสี ไม่ต้องกังวล ไม่ติดไฟสำหรับผู้ที่ถูกนำเข้าและส่งออกที่ความดันสูง CF₄ เป้าหมายกัดกัดพลาสมาที่สำคัญต่อไปนี้จะได้รับตัวนำเซมิน ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการกัดโพลีซิลิคอน ซิลิคอนไดออกไซด์ ซิลิคอนไนไตรต์ โลหะบางชนิด และโลหะซิลิไซด์ นอกจากนี้ CF₄ ยังมีประโยชน์อย่างมากในฐานะสารทำความเย็นที่มีอุณหภูมิต่ำ เป็นก๊าซทำความสะอาดสำหรับแผ่นเวเฟอร์และห้อง และเป็นก๊าซฉนวน

LRICI มีหน่วยการผลิต CF₄ ขนาด 100 ตัน/a ที่มีสิทธิ์ในทรัพย์สินทางปัญญาที่เป็นอิสระจากเทคโนโลยีการผลิตฟลูออไรด์และการวิจัยและพัฒนาอย่างต่อเนื่องเป็นเวลาหลายปี โดยอิงตามเทคโนโลยีอิเล็กโทรลิซิสขั้นสูงและการผลิตฟลูออไรด์ซึ่งสามารถรองรับการผลิต CF₄ ขนาด 5N และ 5.8N ได้อย่างต่อเนื่องและเสถียร