ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF₃)

ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF₃) เป็นก๊าซพิษอนินทรีย์ ไม่มีสี ไม่ติดไฟ มีกลิ่นอับเล็กน้อย ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF₃) เป็นสารเคมีอนินทรีย์สังเคราะห์ ผลิตขึ้นจากปฏิกิริยาของกรดไฮโดรคลอริก (HCl) และแอมโมเนีย (NH3)

ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF₃) เป็นก๊าซพิเศษชนิดใหม่สำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ โดยเป็นก๊าซทำความสะอาดสำหรับการทำความสะอาดด้วยพลาสมาและการแกะสลัก ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรม TFT-LCD เซมิคอนดักเตอร์ และโฟโตอิเล็กทริกจากพลังงานแสงอาทิตย์ เป็นต้น มีข้อดีคือไม่มีสิ่งตกค้าง ความเร็วในการทำความสะอาดสูง และย่อยสลายง่าย

โดยอาศัยเทคโนโลยีอิเล็กโทรลิซิสและเทคโนโลยีการผลิตฟลูออไรด์อย่างเต็มที่ ผ่านการวิจัยและพัฒนาอย่างต่อเนื่องเป็นเวลาหลายปี บริษัทจึงประสบความสำเร็จในเทคโนโลยีการผลิตขั้นสูงหลายรายการในโลก ตั้งแต่ปี 2009 LRICI เป็นซัพพลายเออร์ที่มั่นคงและมีชื่อเสียงในระดับสูงของผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์เกรด NF₃ แก่ลูกค้าในประเทศและลูกค้าจากญี่ปุ่น ไต้หวัน เกาหลีใต้ เป็นต้น ขณะนี้บริษัทมีผลผลิต 4,000 ตัน/a และสามารถผลิตสเป็คได้มากกว่า 99.99% การผลิต NF₃ อย่างต่อเนื่องและเสถียร