Гексафторид вольфрама(WF<sub>6</sub>)

Гексафторид вольфрама(WF6)

Фторид вольфрама (VI), также известный как гексафторид вольфрама, представляет собой неорганическое соединение с формулой WF6. Это токсичный, едкий, бесцветный газ с плотностью около 13 кг/м³. Это один из самых плотных известных газов при стандартных условиях.

Гексафторид вольфрама (WF6) широко используется в производстве полупроводниковых схем и печатных плат посредством процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Дисилицид вольфрама (WSi2), производимый WF6, может использоваться в качестве материала проводки для крупномасштабных интегральных схем. Кроме того, WF6 также используется в качестве полупроводникового электрода и для производства карбида вольфрама.

LRICI обладает передовой технологией синтеза, очистки, рафинирования WF6 и анализа газа высокой степени очистки. Теперь у компании есть предприятие мощностью 50 т/год, которое может стабильно производить 99.999% WF6.

Спецификация продукции Чистота: 99.999%

Спецификация примесей легких компонентов (10-6, массовая доля)
Пункт O2 N2 CO CO2 CF4 SF6 SiF4 HF
Индекс ≤0.5 ≤1.0 ≤0.5 ≤0.5 ≤0.5 ≤0.5 ≤0.5 ≤5.0
Примесь (10-9, массовая доля)
Пункт Fe K Na Cr Th U Co Pb
Spec. ≤20 ≤20 ≤15 ≤10 ≤0.1 ≤0.1 ≤10 ≤10
Пункт Ca Mg Ni Cu Al Mn Mo Zn
Spec. ≤10 ≤10 ≤20 ≤10 ≤20 ≤20 ≤100 ≤10

Упаковка

Цилиндр спец. 10л 40л
Наполнительная масса 15кг 50кг
Клапан CGA638 CGA638

Класс опасности: ядовитый газ класса 2.3

Приложения:

Электронный гексафторид вольфрама: используется для осаждения вольфрама эпитаксиальных пленок в процессе производства пластин в полупроводниковой промышленности.

Фабрика:

Обратная связь

*Email
!!
*Сообщение
!
Продукция
Ваше имя
Компания
Tel/Fax.
WhatsApp
Контакты
No. 2000, Shunhua Road, High-tech Zone, Jinan, Shandong, China.
+86-379-62301606/1673
Stella
Вы можете доверять нам.
Мы работаем над адгезивным сырьем, новыми полиуретановыми материалами, пероксидом водорода и сопутствующим сырьем. Благодаря первоклассным технологиям, продуктам и услугам наша продукция широко используется в высококачественных клеях, специальных красках, эластомерах, аэрокосмической промышленности, автомобилях, 3C электронике, фотовольтаике, горнодобывающей промышленности и других областях.