Фторид вольфрама (VI), также известный как гексафторид вольфрама, представляет собой неорганическое соединение с формулой WF6. Это токсичный, едкий, бесцветный газ с плотностью около 13 кг/м³. Это один из самых плотных известных газов при стандартных условиях.
Гексафторид вольфрама (WF6) широко используется в производстве полупроводниковых схем и печатных плат посредством процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Дисилицид вольфрама (WSi2), производимый WF6, может использоваться в качестве материала проводки для крупномасштабных интегральных схем. Кроме того, WF6 также используется в качестве полупроводникового электрода и для производства карбида вольфрама.
LRICI обладает передовой технологией синтеза, очистки, рафинирования WF6 и анализа газа высокой степени очистки. Теперь у компании есть предприятие мощностью 50 т/год, которое может стабильно производить 99.999% WF6.