No. 2000, Shunhua Road, High-tech Zone, Jinan, Shandong, China. +86-379-62301606/1673 stella@zhongqiaochemical.com
English
Тетрафторид углерода(CF<sub>4</sub>)

Тетрафторид углерода(CF4)

Тетрафторметан (CF4), также называемый тетрафторуглеродом, представляет собой бесцветный, нетоксичный, негорючий газ, обычно сжимаемый и транспортируемый под высоким давлением. CF4 является основным агентом плазменного травления в производстве полупроводников, который широко используется для травления поликремния, диоксида кремния, нитрита кремния, некоторых металлов и силицидов металлов. Кроме того, CF4 очень полезен в качестве низкотемпературного хладагента, в качестве очищающего газа для пластин и камер, а также в качестве газообразного изолятора.

Основываясь на передовых технологиях электролиза и производства фтора и непрерывных исследованиях и разработках в течение нескольких лет, LRICI имеет производственную установку CF4 мощностью 100 т/год с независимыми правами интеллектуальной собственности, которая может непрерывно и стабильно обслуживать производство 5N и 5.8N CF4.

E-mail Отправить сообщение Больше продуктов

Спецификация для 8N&5N CF4

Пункт Индекс
CF4, 10-2 ≥ 99.9998 ≥ 99.999
N2, 10-6 ≤ 1 ≤ 4
O2, 10-6 ≤ 0.5 ≤ 1
H2O, 10-6 ≤ 0.5 ≤ 1
CO, 10-6 ≤ 0.1 ≤ 0.1
CO2, 10-6 ≤ 0.4 ≤ 1
SF6, 10-6 ≤ 0.1 ≤ 1
F-C, 10-6 ≤ 0.5 ≤ 1
HF, 10-6 ≤ 0.1 ≤ 1

Примечание: все спецификации являются массовыми долями.

Упаковка:

Тип цилиндра Номинальный диаметр (НД) × высота (см) Вес цилиндра (кг) Внутренний объем (л) Давление в цилиндре (МПа) Вместимость (кг) Клапан
DOT 3AA2265 23×130/23×138.5 52/55 43.3/46.7 14 26/28 CGA580
CGA320

* Высота сообщается как расстояние от дна цилиндра до горлышка цилиндра;

* Или обслуживайте цилиндры и клапаны другого типа в соответствии с требованиями заказчика.

Приложения:

Тетрафторуглерод электронного качества: в настоящее время это один из основных газов для плазменного травления в полупроводниковой промышленности, в основном используемый для травления кремния, диоксида кремния, нитрида кремния, силицида металла и некоторых металлов. Он широко используется в низкотемпературном охлаждении, очистке поверхности электронных устройств, изоляции газовой фазы и т. д.

Фабрика:

Соответствующая продукция

Обратная связь

*Email
!!
*Сообщение
!
Продукция
Ваше имя
Компания
Tel/Fax.
WhatsApp
Контакты
No. 2000, Shunhua Road, High-tech Zone, Jinan, Shandong, China.
+86-379-62301606/1673
stella@zhongqiaochemical.com
Stella
Продукция
Катализатор / оксид алюминия Новые полиуретановые материалы Трансфер технологий
Меню
Главная О компании Испытательный центр Выставка Контакты
Вы можете доверять нам.
Мы работаем над адгезивным сырьем, новыми полиуретановыми материалами, пероксидом водорода и сопутствующим сырьем. Благодаря первоклассным технологиям, продуктам и услугам наша продукция широко используется в высококачественных клеях, специальных красках, эластомерах, аэрокосмической промышленности, автомобилях, 3C электронике, фотовольтаике, горнодобывающей промышленности и других областях.
stella@zhongqiaochemical.com
0086-379-62301606
TOP
stella@zhongqiaochemical.com
0086-379-62301606
TOP