Трифторид азота(NF₃)

Трифторид азота (NF₃) представляет собой неорганический, бесцветный, негорючий, токсичный газ со слегка затхлым запахом. Трифторид азота (NF₃) представляет собой синтетическое неорганическое химическое вещество. Его получают реакцией соляной кислоты (HCl) и аммиака (NH3).

Трифторид азота (NF₃) — это новый специальный газ для электронной промышленности в качестве очищающего газа для плазменной очистки и травления, широко используемый в TFT-LCD, полупроводниковой и солнечной фотоэлектрической промышленности и т. д., имеющий преимущества отсутствия остатка, высокой скорости очистки и легкого разложения.

Основываясь на зрелой технологии электролиза и производства фторидов, благодаря непрерывным исследованиям и разработкам в течение нескольких лет, компания достигла нескольких передовых технологий производства в мире. С 2009 года LRICI является стабильным поставщиком с высокой репутацией электронной продукции NF₃ для внутренних клиентов и клиентов из Японии, Тайваня, Южной Кореи и т. д. Теперь производительность компании составляет 4000 т/год, а производительность превышает 99.99%. spec, производство NF₃ непрерывно и стабильно.