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Hexafluoreto de tungstênio

Hexafluoreto de tungstênio (WF6)

O fluoreto de tungstênio (VI), também conhecido como hexafluoreto de tungstênio, é um composto inorgânico com a fórmula WF6. É um gás tóxico, corrosivo, incolor, com densidade de cerca de 13 kg/m³. É um dos gases mais densos conhecidos sob condições padrão.

O hexafluoreto de tungstênio (WF6) é amplamente utilizado na produção de circuitos semicondutores e placas de circuito por meio do processo de deposição química de vapor (CVD). Além disso, o WF6 também é usado como eletrodo semicondutor e para a produção de carboneto de tungstênio.

O LRICI possui a tecnologia avançada de síntese, purificação e refino WF6 e análise de gás altamente purificado. A empresa agora tem uma instalação de 50 t/a que pode produzir 99,999% WF6 de forma estável.

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Especificação. Pureza: 99.999%

especificação de impureza de componente leve. (10-6, fração de massa)
Item O2 N2 CO CO2 CF4 SF6 SiF4 HF
Index ≤0.5 ≤1.0 ≤0.5 ≤0.5 ≤0.5 ≤0.5 ≤0.5 ≤5.0
Impureza (10-9, fração de massa)
Item Fe K Na Cr Th U Co Pb
Spec. ≤20 ≤20 ≤15 ≤10 ≤0.1 ≤0.1 ≤10 ≤10
Item Ca Mg Ni Cu Al Mn Mo Zn
Spec. ≤10 ≤10 ≤20 ≤10 ≤20 ≤20 ≤100 ≤10

Embalagem

Especificação do cilindro 10L 40L
Massa de enchimento 15kg 50kg
Válvula CGA638 CGA638

Classe de perigo: gás tóxico classe 2.3

Aplicação:

Hexafluoreto de tungstênio de grau eletrônico: usado para sedimento de tungstênio dos filmes epitaxiais do processo de produção de wafer na indústria de semicondutores.

Fábrica:

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