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Trifluoreto de nitrogênio (NF<sub>3</sub>)

Trifluoreto de nitrogênio (NF3)

O trifluoreto de nitrogênio (NF3) é um gás tóxico inorgânico, incolor, não inflamável, com um leve odor de mofo. O trifluoreto de nitrogênio (NF3) é um químico inorgânico sintético. É fabricado pela reação de ácido clorídrico (HCl) e amônia (NH3).

Trifluoreto de nitrogênio (NF3) é um novo gás especial para a indústria eletrônica como gás de limpeza para limpeza e gravação de plasma, amplamente utilizado em TFT-LCD, indústria de semicondutores e fotoeletricidade solar, etc., tendo vantagens de não permanecer, alta velocidade de limpeza e fácil de decompor.

Com base na tecnologia de produção de eletrólise e fluoretos, através de P&D contínuo por vários anos, a empresa alcançou várias tecnologias de produção avançadas no mundo. Desde 2009, a LRICI tem sido um fornecedor estável com alta reputação de produtos de grau eletrônico NF3 para clientes domésticos e clientes do Japão, Taiwan, Coréia do Sul, etc. A empresa agora tem produtividade de 4.000 t/a e pode produzir até mais de 99.99% especificação, produção NF3 contínua e estável.

Padrão de qualidade:

Item GB/T 21287-2007 Q/LMY106-2009
NF3, 10-2 ≥ 99.99 ≥ 99.995
CF4, 10-6 ≤ 50 ≤ 40
N2, 10-6 ≤ 10 ≤ 5
O2+Ar, 10-6 ≤ 5 ≤ 3
CO, 10-6 ≤ 5 ≤ 1
CO2, 10-6 ≤ 5 ≤ 5
N2O, 10-6 ≤ 5 ≤ 5
SF6, 10-6 ≤ 5 ≤ 5
Acidez (como HF), 10-6 ≤ 1 ≤ 1
H2O, 10-6 ≤ 1 ≤ 1

Embalagem:

Tamanho do Cilindro 43L 47L 470L
Peso de preenchimento 15kg 20kg 200kg
Válvula do cilindro CGA330 CGA640 CGA640

Aplicação:

Trifluoreto de nitrogênio de grau eletrônico: É um novo tipo de produto químico de grau eletrônico que foi desenvolvido nos últimos anos. Pertence ao gás eletrônico usado para indústrias eletrônicas, semicondutoras e fotovoltaicas, usado principalmente para gravação de plasma e limpeza de componentes eletrônicos, e é amplamente aplicado na fabricação de chips, laser de alta energia e indústrias solares fotovoltaicas.

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