육불화텅스텐으로도 알려진 불화텅스텐(VI)은 화학식 WF6을 갖는 무기 화합물입니다. 밀도가 약 13kg/m³인 독성, 부식성, 무색 가스입니다. 표준 조건에서 알려진 가장 밀도가 높은 가스 중 하나입니다.
육불화텅스텐(WF6)은 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 반도체 회로 및 회로 기판 생산에 널리 사용됩니다. WF6으로 만든 이규화텅스텐(WSi2)은 대규모 집적 회로의 배선 재료로 사용할 수 있습니다. 또한 WF6는 반도체 전극 및 텅스텐 카바이드 생산에도 사용됩니다.
RICI는 고급 WF6 합성, 정제, 정제 기술 및 고순도 가스 분석 기술을 보유하고 있습니다. 현재 99.999% WF6를 안정적으로 생산할 수 있는 50t/a 설비를 갖추고 있다.
제품 사양 청정: 99.999%
| 가벼운 구성 요소 불순물 사양. (10-6, 질량 분율) | ||||||||
| 프로젝트 | O2 | N2 | CO | CO2 | CF4 | SF6 | SiF4 | HF |
| 색인 | ≤0.5 | ≤1.0 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤5.0 |
| 불순물(10-9, 질량 분율) | ||||||||
| 프로젝트 | Fe | K | Na | Cr | Th | U | Co | Pb |
| 사양 | ≤20 | ≤20 | ≤15 | ≤10 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤10 | ≤10 |
| 프로젝트 | Ca | Mg | Ni | Cu | Al | Mn | Mo | Zn |
| 사양 | ≤10 | ≤10 | ≤20 | ≤10 | ≤20 | ≤20 | ≤100 | ≤10 |
포장
| 실린더 사양 | 10L | 40L |
| 채우는 질량 | 15kg | 50kg |
| 판막 | CGA638 | CGA638 |
위험 등급: 클래스 2.3 독성 가스
신청:
전자 등급 육불화텅스텐: 반도체 산업에서 웨이퍼 생산 공정의 에피택셜 필름의 텅스텐 퇴적물에 사용됩니다.
공장:
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