삼불화질소 (NF₃)

삼불화질소 (NF₃)는 약간 퀴퀴한 냄새가 나는 무기질의 무색 불연성 독성 가스입니다. 삼불화질소 (NF₃)는 합성 무기 화학물질입니다. 염산(HCl)과 암모니아(NH3)의 반응에 의해 제조됩니다.

삼불화질소(NF₃)는 플라즈마 세정 및 식각용 세정가스로 전자산업의 새로운 특수가스로 TFT-LCD, 반도체, 태양광산업 등에 널리 사용되며 잔존물이 없고 세정속도가 빠르고 분해가 용이한 장점이 있습니다.

성숙한 전기 분해 및 불화물 생산 기술을 기반으로 수년간의 지속적인 연구 개발을 통해 회사는 세계에서 몇 가지 고급 생산 기술을 달성했습니다. LRICI는 2009년부터 국내 고객 및 일본, 대만, 한국 등의 고객에게 전자급 제품 NF₃의 높은 평판을 가진 공급업체로 안정적으로 공급하고 있습니다. 사양, NF₃ 생산을 지속적이고 안정적으로 수행합니다.