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육플루오린화 황

육플루오린화 황 (SF6)

육불화황 또는 육불화황은 화학식 SF6을 갖는 무기 화합물입니다. 무색, 무취, 불연성, 무독성 가스입니다.

우수한 전기 절연 및 아크 소멸 능력을 가진 육불화황은 전기 설비, 레이저, 의학, 기상학, 냉동, 소방, 화학 산업, 비철 야금 및 물리 연구 등의 분야에서 널리 사용되었습니다.

LRICI는 육플루오린화 황 의 발명가이자 업계 리더이며 육플루오린화 황 국가 표준의 주요 제도 및 중앙 집중식 관리 단위입니다. 회사는 연간 3500톤의 공업용 육불화황 생산능력과 세계 선진기술을 보유하고 있다. 안정적이고 신뢰할 수 있는 품질의 "ZHONG QIAO" 브랜드 제품은 국내외에서 좋은 평판을 얻었습니다.

품질 기준:

프로젝트 GB/T 12022-2006 Q/LMY 034-2006
SF6, % ≥ 99.9 ≥ 99.96 ≥ 99.99
Air, % ≤ 0.04 ≤ 0.02 ≤ 0.003
CF4, % ≤ 0.04 ≤ 0.02 ≤ 0.001
H2O, 10-6 ≤ 5 ≤ 3 ≤ 1
산도(HF로), 10-6 ≤ 0.2 ≤ 0.1 ≤ 0.1
가수분해성 불화물(HF로), 10-6 ≤ 1 ≤ 0.4 ≤ 0.2
미네랄 오일, 10-6 ≤ 4 ≤ 3 ≤ 1
독성 무독성 무독성 무독성

포장:

실린더 크기 5L 8L 12L 28L 40L
충전 중량 5~6kg 8~10kg 12~15kg 25~30kg 50kg
실린더 밸브 QF-2 QF-2 QF-2 QF-2 QF-2

위험 등급: 클래스 2.2 불연성 가스


산업용 등급 육불화황: 99.99%의 제품 순도, 매우 높은 유전 강도, 완벽한 절연 성능, 아크 소화 성능 및 화학적 안정성. 제품은 전력, 전자, 전기기기 뿐만 아니라 레이저, 의약, 기상학, 냉동, 소방, 화학공업, 비철금속, 물리연구 등의 분야에서 널리 사용되고 있습니다.


전자 등급 육불화황

전자 등급 육불화황은 TFT-LCD, 반도체 및 태양광 광전 산업 등에서 널리 사용되는 플라즈마 세정 및 에칭에 적합한 세정 가스입니다.

LRICI는 전자 SF6의 생산 능력이 1000t/a인 자동 생산 시설을 보유하고 있으며 고급 전기 분해, 합성, 정제, 정제 기술, 고급 실린더 세척 작업, 실린더 충전 기술 및 고순도 가스 분석을 보유하고 있습니다. 능력. 2006년부터 LRICI는 항상 일본, 대만, 한국 등의 고객에게 전자 등급 제품 SF6을 안정적으로 공급해 왔습니다. 현재 LRICI는 중국에서 전자 등급 육불화황의 유일한 제조업체입니다.

사양 5.5N & 5N SF6

프로젝트 색인
SF6, 10-2 ≥ 99.9995 ≥ 99.999
N2, 10-6 ≤ 2 ≤ 2
O2, 10-6 ≤ 1 ≤ 2
H2O, 10-6 ≤ 1 ≤ 2
CO, 10-6 ≤ 0.1 ≤ 0.5
CO2, 10-6 ≤ 0.3 ≤ 0.5
CH4, 10-6 ≤ 0.1 ≤ 0.1
CF4, 10-6 ≤ 0.5 ≤ 0.5
산도(HF로), 10-6 ≤ 0.04 ≤ 0.04
가수분해성 불소, 10-6 - ≤ 0.2

참고: 지정되지 않은 사양은 부피 분율입니다.

포장:

실린더 크기 47L 470L 5L 8L 12L 28L 40L
충전 중량 45~52kg 500kg 5~6kg 8~10kg 12~15kg 25~30kg 50kg
실린더 밸브 CGA590A CGA716 QF-2 QF-2 QF-2 QF-2 QF-2

위험 등급: 클래스 2.2 불연성 가스


전자 등급 육불화황: 제품의 순도가 99.999%(5N)에 도달했습니다. 주로 전자 및 반도체 산업에서 화학기상증착(CVD) 세정제 및 플라즈마 식각제로 사용되며, TFT-LCD, 반도체, 태양광 패널 등의 분야에서 널리 사용된다.

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