1. Home
  2. Produk
  3. Bahan
  4. Gas yang mengandung fluor
  5. Tungsten Hexafluoride (WF6)
Tungsten Hexafluoride

Tungsten Hexafluoride (WF6)

Tungsten(VI) fluoride adalah senyawa anorganik dengan rumus WF6. Ini adalah gas beracun, korosif, tidak berwarna, dengan kepadatan sekitar 13 kg/m³. Ini adalah salah satu gas terpadat yang diketahui dalam kondisi standar.

Tungsten hexafluoride (WF6) banyak digunakan dalam produksi sirkuit semikonduktor dan papan sirkuit melalui proses deposisi uap kimia (CVD). Tungsten disilicide (WSi2) yang dibuat oleh WF6 dapat digunakan sebagai bahan kabel untuk sirkuit terpadu skala besar. Selain itu, WF6 juga digunakan sebagai elektroda semikonduktor dan untuk produksi karbida tungsten.

LRICI memiliki teknologi sintesis, pemurnian, pemurnian WF6 yang canggih, dan analisis gas murni yang tinggi. Perusahaan kini memiliki fasilitas 50 t/a yang dapat menghasilkan 99,999% WF6 secara stabil.

Kemurnian: 99.999%

Spesifikasi pengotor komponen ringan. (10-6, fraksi massa)
Item O2 N2 CO CO2 CF4 SF6 SiF4 HF
Index ≤0.5 ≤1.0 ≤0.5 ≤0.5 ≤0.5 ≤0.5 ≤0.5 ≤5.0
Pengotor (10-9, fraksi massa)
Item Fe K Na Cr Th U Co Pb
Spec. ≤20 ≤20 ≤15 ≤10 ≤0.1 ≤0.1 ≤10 ≤10
Item Ca Mg Ni Cu Al Mn Mo Zn
Spec. ≤10 ≤10 ≤20 ≤10 ≤20 ≤20 ≤100 ≤10

Kemasan

Spesifikasi silinder 10L 40L
Mengisi massa 15kg 50kg
Katup CGA638 CGA638

Kelas bahaya: Gas beracun kelas 2.3

Aplikasi:

Tungsten hexafluoride kelas elektronik: digunakan untuk sedimen tungsten dari film epitaxial dari proses produksi wafer di industri semikonduktor.

Pabrik:

Formulir diminta

*Email
!!
*Konten
!
Nama produk
Namamu
Perusahaan
Tel/Fax.
WhatsApp
Kontak kami
No. 2000, Shunhua Road, High-tech Zone, Jinan, Shandong, China.
+86-379-62301606/1673
Stella
Kau bisa percaya pada kami.
Kami berkomitmen untuk bahan-bahan mentah melekat, bahan-bahan baru poliuretan dan peroksida hidrogen & mendukung bahan-bahan mentah. Dengan teknologi kelas pertama, produk dan layanan, produk-produk kami digunakan dengan luas di lembaran tinggi, mantel khusus, elastomer, aerospace, automotif, elektronik 3C, fotovoltaik, pertambangan tambang dan lainnya.