Tungsten(VI) fluoride adalah senyawa anorganik dengan rumus WF6. Ini adalah gas beracun, korosif, tidak berwarna, dengan kepadatan sekitar 13 kg/m³. Ini adalah salah satu gas terpadat yang diketahui dalam kondisi standar.
Tungsten hexafluoride (WF6) banyak digunakan dalam produksi sirkuit semikonduktor dan papan sirkuit melalui proses deposisi uap kimia (CVD). Tungsten disilicide (WSi2) yang dibuat oleh WF6 dapat digunakan sebagai bahan kabel untuk sirkuit terpadu skala besar. Selain itu, WF6 juga digunakan sebagai elektroda semikonduktor dan untuk produksi karbida tungsten.
LRICI memiliki teknologi sintesis, pemurnian, pemurnian WF6 yang canggih, dan analisis gas murni yang tinggi. Perusahaan kini memiliki fasilitas 50 t/a yang dapat menghasilkan 99,999% WF6 secara stabil.