Carbon Tetrafluoromethane (CF₄)

Tetrafluoromethane(CF₄) adalah gas tidak berwarna, tidak beracun, tidak mudah terbakar, biasanya dikompresi dan dikirim pada tekanan tinggi. CF₄ adalah agen etsa plasma utama dalam industri konduktor semin, yang banyak digunakan untuk etsa Polysilicon, Silicon Dioxide, Silicon Nitrite, beberapa Metal dan Metal Silicides. Juga, CF₄ sangat berguna sebagai refrigeran suhu rendah, sebagai gas pembersih untuk wafer dan bilik, dan sebagai penyekat gas.

Berdasarkan teknologi canggih elektrolisis dan penghasil fluorida serta R&D berkelanjutan selama beberapa tahun, LRICI memiliki unit produksi CF₄ 100t/a dengan hak kekayaan intelektual independen yang dapat melayani produksi CF₄ 5N dan 5,8N secara terus menerus dan stabil.