Nitrogen Trifluoride (NF₃)

Nitrogen trifluoride (NF₃) adalah gas beracun anorganik, tidak berwarna, tidak mudah terbakar, dengan sedikit bau apek. Nitrogen trifluoride (NF₃) adalah bahan kimia anorganik sintetik. Ini diproduksi oleh reaksi asam klorida (HCl) dan amonia (NH3).

Nitrogen trifluoride(NF₃) adalah gas khusus baru untuk industri elektronik sebagai gas pembersih untuk pembersihan dan etsa plasma, banyak digunakan dalam TFT-LCD, semikonduktor dan industri fotolistrik surya dll., memiliki keunggulan tidak ada sisa, kecepatan pembersihan tinggi dan mudah terurai.

Berdasarkan teknologi produksi elektrolisis dan fluorida yang matang, melalui R&D berkelanjutan selama beberapa tahun, perusahaan telah mencapai beberapa teknologi produion yang maju di dunia. Sejak tahun 2009 LRICI telah stabil menjadi pemasok dengan reputasi tinggi untuk produk kelas elektronik NF₃ ke pelanggan domestik dan pelanggan dari Jepang, Taiwan, Korea Selatan Dll. Perusahaan sekarang memiliki produktivitas 4000 t/a dan dapat menghasilkan lebih dari 99,99% spec, produksi NF₃ terus menerus dan stabil.